Fourier ellipsometry - An ellipsometric approach to Fourier scatterometry (NDA@SZTAKI, Nemzeti Digitális Adattár, National Digital Data Archive)

Tartalom:	http://real.mtak.hu/24879/
Archívum:	MTA Könyvtár
Gyûjtemény:	Status = Published Type = Article
Cím:	Fourier ellipsometry - An ellipsometric approach to Fourier scatterometry
Létrehozó:	Petrik, Péter Kumar, N. Fried, Miklós Fodor, Bálint Juhász, György
Dátum:	2015
Téma:	QC02 Optics / fénytan
Típus:	Article PeerReviewed
Formátum:	text
Azonosító:	http://real.mtak.hu/24879/1/manusc_eosam_15002_Fourier_u.pdf Petrik, Péter and Kumar, N. and Fried, Miklós and Fodor, Bálint and Juhász, György (2015) Fourier ellipsometry - An ellipsometric approach to Fourier scatterometry. JOURNAL OF THE EUROPEAN OPTICAL SOCIETY-RAPID PUBLICATIONS, 10. p. 15002. ISSN 1990-2573
Kapcsolat:	http://real.mtak.hu/24879/