Characterization of polysilicon thin films using in situ and ex situ spectroscopic ellipsometry (NDA@SZTAKI, Nemzeti Digitális Adattár, National Digital Data Archive)

Tartalom:	http://real.mtak.hu/5953/
Archívum:	MTA Könyvtár
Gyûjtemény:	Status = Published Type = Thesis
Cím:	Characterization of polysilicon thin films using in situ and ex situ spectroscopic ellipsometry
Létrehozó:	Petrik, Péter
Dátum:	1999
Téma:	QC Physics / fizika
Típus:	Thesis NonPeerReviewed
Formátum:	text
Azonosító:	http://real.mtak.hu/5953/1/petrik_phd.pdf Petrik, Péter (1999) Characterization of polysilicon thin films using in situ and ex situ spectroscopic ellipsometry. PhD thesis, Budapesti Mûszaki Egyetem ; MTA MFA.
Kapcsolat:	http://real.mtak.hu/5953/