Thermodynamical modelling and characterization of vacuum metallurgical (CVD, PVD) deposition processes = Vákuumkohászati felületi rétegképzõ folyamatok (CVD; PVD) termodinamikai modellezése és jellemzése (NDA@SZTAKI, Nemzeti Digitális Adattár, National Digital Data Archive)

Archívum:	MATARKA: Magyar folyóiratok tartalomjegyzékei
Gyûjtemény:	Gép
Cím:	Thermodynamical modelling and characterization of vacuum metallurgical (CVD, PVD) deposition processes = Vákuumkohászati felületi rétegképzõ folyamatok (CVD; PVD) termodinamikai modellezése és jellemzése
Létrehozó:	Török T. I. Lakatos Varsányi M. Szabó O. Hanzel, D.
Kiadó:	Gép ISSN 0016-8572
Dátum:	1998
Típus:	Text
Kapcsolat:	Gép 50. évf. 4-5. sz. 6-8. oldal URL: http://www.matarka.hu/cikk_list.php?fusz=369 (isPartOf)